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METAPLAS.DOMINO kila flex

El equipo METAPLAS.DOMINO kila flex cumple con todos los requisitos de máquina de producción flexible, orientado al cliente y de bajo mantenimiento que mantiene todas las puertas abiertas para posibles solicitudes especiales.  La cámara de PVD octogonal de fácil acceso para su carga y descarga es una plataforma ideal para la automatización y la operación sencilla, con mantenimiento reducido.  Además de tecnologías de arco y de sputtering, también pueden utilizarse sistemas precursores PACVD e integrarse en el sistema.

  • APA Arc, HiPIMS sputtering o tecnología HI3 con hasta 6 flancos
  • Nueva tecnología de grabado ADVANCED AEGD
  • Cámara de doble pared y refrigerada con agua accesible de ambos lados con dos puertas de cámara
  • Apertura y cierre automáticos de la puerta de carga para procesos automatizados
  • Precursores para varios procesos PACVD, también en combinación con un proceso de nitruración
  • Reequipación con varias tecnologías y sistemas de análisis (plasma) dependiendo de las necesidades del cliente

Equipo con cámara libre y dos puertas

Las versiones flex están perfectamente diseñadas para la futura integración de tecnología recién desarrollada, así como la integración en procesos de producción automatizada.

Propiedades METAPLAS.DOMINO kila flex
Volumen útil de recubrimiento Ø 620 mm x 700 mm
Módulos de recubrimiento disponibles Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
Evaporadores de arco APA 4 a 16
Fuentes de pulverización del magnetrón 1 a 6
Available power supplies DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
Available BIAS Bipolar pulse, middle frequency
Limpieza de plasma All systems equipped with patented power etching process AEGD
Tabla de substrato estándar
(otras por solicitud)
9 ejes

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