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BALORA® HALONA ist eine PVD-Beschichtung, die für anspruchsvolle Plasmaätzprozesse entwickelt wurde. Sie bietet außergewöhnliche chemische Beständigkeit und Abriebfestigkeit – und erfüllt damit die Anforderungen der heutigen und zukünftigen Halbleitertechnologie.
| BALORA HALONA | |
|---|---|
| Schichtmaterial | YOF |
| Beschichtungstechnologie | Magnetron PVD |
| Schichtfarbe | farblos |
| Schichthärte HIT[GPa]* | ~ 12 |
| Reibungskoeffizient (trocken) vs. Stahl** | ~ 0.6 |
| Max. Anw.- Temp. [°C]**** | > 1000 |
| Prozesstemperatur [°C] | < 250 |
| Allgemeine Anmerkungen | Alle diese Werte sind ungefähre Angaben und abhängig von der jeweiligen Anwendung sowie den Umgebungs- und Testbedingungen. |
| *Schichthärte HIT[GPa] | Gemessen durch Nanoeindringung nach ISO 14577. Bei Multilayer-Schichten kann die Härte der einzelnen Schichten variieren. Die Härte kann an die jeweilige Anwendung angepasst werden. |
| **Reibungskoeffizient (trocken) vs. Stahl | Bestimmt durch einen Kugel-auf-Scheibe-Test unter trockenen Bedingungen mit einer Stahlkugel nach ASTM G99. Während der Einlaufphase können die angegebenen Werte überschritten werden. |
| ****Max. Anw.- Temp. [°C] | Dies sind ungefähre Werte aus der Praxis. Aufgrund thermodynamischer Gesetze sind die Werte auch vom vorhandenen Druck abhängig. |
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