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METAPLAS.DOMINOEine Technologie-Plattform – viele Möglichkeiten

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METAPLAS.DOMINO pica
METAPLAS. DOMINO micra
METAPLAS.DOMINO kila
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO giga flex

Mehrere Module, angepasst an die individuellen Anforderungen und variabel zu einem großen Ganzen vereinbar – das ist die Grundlage der METAPLAS.DOMINO. Unsere Erfahrungen aus 30 Jahren im Bereich Werkzeugmaschinen sind eingeflossen, um modernste Technologien für die Dünnfilm-Beschichtung zu entwickeln.

Damit bietet Oerlikon Balzers leistungsstarke Systemlösungen und setzt neue Trends im Bereich der Beschichtungen. Das modulare und flexible Konzept der Dünnfilm-Beschichtungsanlage ermöglicht auch nachträgliche Erweiterungen und Upgrades.

  • Vorteile

    Vorteile

    • Flexibilität, vielfältige modulare Erweiterungsmöglichkeiten
    • Maßgeschneiderte Beschichtungslösungen
    • Geringstmöglicher Wartungsaufwand und Ersatzteilbedarf
    • Effizienter After-Sales-Service

    HI3 – High Ionization Triple Hybridtechnologie (Arc+HiPIMS)
    in Kombination mit dem AEGD-Plasmaätzen:

    HI3
     
    HI3
    • Kombinierte Stärke von 3 Prozessen in einer PVD-Anlage
    • Hervorragende Schichthaftung, hohe Abscheiderate, glatte Beschichtungen, wirtschaftliche Produktion
    • Innovativer Ansatz für die nächste Generation von PVD-Beschichtungen für verschiedene Anwendungen
    • HI3-Technologie ermöglicht ein breites Spektrum von Schichtarchitekturen
    • Mit der HI3-Technologie lassen sich Beschichtungen dank einer Vielzahl von möglichen Materialien, Mikro-Legierungen, Dotierungen und durch die spezifische Gestaltung des Schichtaufbaus bedarfsgerecht konfigurieren, und das alles bei höchster Wirtschaftlichkeit!
  • Spezifikationen

    Anlage mit integrierter Kammer

    Kompakte Anlage in unterschiedlichen Größen für jeglichen Produktionsbedarf

      METAPLAS.DOMINO pica METAPLAS.DOMINO micra METAPLAS.DOMINO kila
    Eigenschaften
    METAPLAS.DOMINO pica
    METAPLAS.DOMINO micra
    METAPLAS.DOMINO kila
    Verwendbares Beschichtungsvolumen
    Ø 330 mm x 300 mm
    Ø 450 mm x 500 mm
    Ø 640 mm x 700 mm
    Erhältliche Beschichtungsmodule
    Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitrieren, DLC, ta-C
    ARC-Verdampfer
    2 bis 6
    3 bis 12
    4 bis 16
    Magnetron-Sputterquellen
    1 bis 3
    1 bis 4
    1 bis 4
    Verfügbare Power Supplies
    DC, DC Pulse, HIPIMS, bipolar gepulst, MF (RF auf Anfrage)
    Plasma-Ätzen
    Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
    Standard Substrattisch
    (weitere auf Anfrage)
    5 Spindeln
    6 Spindeln
    9 Spindeln
     

    Anlage mit freistehender Kammer und zwei Türen

    Die flex-Versionen sind bereits heute auf die künftige Einbindung neu entwickelter Technologien sowie auf die Integration in automatisierte Produktionsprozesse ausgelegt.

      METAPLAS.DOMINO kila flex METAPLAS.DOMINO giga flex
    Eigenschaften
    METAPLAS.DOMINO kila flex
    METAPLAS.DOMINO giga flex
    Verwendbares Beschichtungsvolumen
    Ø 640 mm x 700 mm
    Ø 1.200 mm x 1.500 mm
    Erhältliche Beschichtungsmodule
    Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitrieren, DLC, ta-C
    ARC-Verdampfer
    4 bis 16
    8 bis 32
    Magnetron-Sputterquellen
    1 bis 6
    1 bis 4
    Verfügbare Power Supplies
    DC, DC Pulse, HIPIMS, bipolar gepulst, MF (RF auf Anfrage)
    Plasma-Ätzen
    Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
    Standard Substrattisch
    (weitere auf Anfrage)
    9 Spindeln
    Bis zu 32 Spindeln
     
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    Hauptmodule

    Arc

    Arc

    Die innovative APA-Verdampfertechnologie (Advanced Plasma Assisted) basiert auf der kathodischen Vakuum-Bogenverdampfung und bietet diverse Möglichkeiten, neue Schichtarchitekturen zu entwickeln.

    Vorteile:

    • erhöhte Targetausnutzung führt zu geringeren Targetkosten
    • hohe Beschichtungsrate
    • anpassbare Magnetfelder
    • kurze Targetwechselzeiten
    • hohe Plasmadichte
    • weniger Makropartikel
    • exzellente Schichthaftung

     

    HiPIMS

    HiPIMS

    HiPIMS steht für High-Power Impulse Magnetron Sputtering.
     
     
     

    Vorteile:

    • hohe Ionisierungsrate (mit Bogen vergleichbar)
    • hohe Leistungsdichte von 100 bis 1.000 W/cm2
    • sehr hohe Plasmadichte
    • Aufbau der Schichten über Parameter anpassbar
    • sehr glatte Beschichtungen
    • exzellente Schichthaftung
    • Abscheidung von dichten Schichten bei niedrigen Substrattemperaturen
     

    Zusatzmodule

    Sputter

    Sputter

    Beim Sputtern (Zerstäuben) werden Atome aus einem Target durch Beschuss mit energiereichen Ionen (Argon) herausgelöst und in die Gasphase überführt. Durch Kombination mit weiteren Gasen wird das zerstäubte Material anschließend schichtweise auf einem Substrat aufgebracht.

    Vorteile:

    • ein breites Spektrum an Materialien kann zerstäubt werden
    • unterschiedliche Verfahrensvarianten sind möglich
    • glatte Schichten
    • gute Schichthaftung bei Kombination mit dem leistungsstarken Ätzprozess AEGD

    Nitrieren

    Nitrieren

    Mit dem Nitriermodul lässt sich noch vor der eigentlichen PVD- und/oder PACVD-Beschichtung in nur einer Anlage und einer einzigen Charge ein Plasmanitrierschritt einfügen. Dabei wird eine unterstützende und gehärtete Oberfläche für die nachfolgende PVD/PACVD-Schicht erzeugt.

    Vorteile:

    • optimale Einstellung für Werkzeuge und Komponenten
    • Wegfall von teuren Basismaterialien
    • deutlich erhöhte Standzeiten
    • alle Arten von PVD-Beschichtungen sind möglich

     

     

    DLC

    DLC

    DLC steht für Diamond-Like Carbon und bezeichnet eine Gruppe von amorphen Kohlenstoffschichten mit besonders geringer Reibung. Mit dem DLC-Modul lassen sich verschiedene Arten von DLC-Beschichtungen mittels eines PVD- und/oder PACVD-Prozesses herstellen. Standardmäßig bestehen DLC-Beschichtungen aus metallfreien oder metallhaltigen Kohlenstoffschichten.

    Vorteile:

    • exzellente Schichthaftung
    • hohe Verschleißfestigkeit
    • geringer Reibungskoeffizient
    • glatte Schichten

    ta-C

    ta-C

    ta-C steht für tetraedrische amorphe Kohlenstoffe und bezeichnet eine Gruppe von extrem harten Kohlenstoff-beschichtungen mit besonders geringer Reibung. Mit dem ta-C-Modul lassen sich verschiedene ta-C-Schichten erzeugen.
     
     
     

    Vorteile:

    • höhere Temperaturbeständigkeit als DLC
    • sehr hohe Verschleißfestigkeit
    • exzellente Schichthaftung
    • glatte Schichten

     

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