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Halbleiter Waferchucks und Sockel

Für die Reduktion von Verschleiß und Verunreinigung sowie einstellbare elektrische Eigenschaften erhalten Produkte BALINIT DYLYN-Beschichtungen. Andere erhalten Y2O3-Beschichtungen für Ätzbeständigkeit, sowie TiN und CrN für Verschleißbeständigkeit und elektrische Leitfähigkeit.