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基于 PVD 的工艺 PVD 工艺

基于 PVD 的工艺

PVD 涂层是什么?

PVD 就是物理气相沉积。此工艺在高度真空,并且大都在 150 到 500 °C 温度间发生。

PVD 工艺如何运行?

在 PVD 工艺中的高纯度固体涂层材料(金属如钛、铬和铝)既可通过加热或通过离子轰击(溅射)来得到蒸发。同时添加反应性气体(例如氮气或含碳气体);之后形成含金属蒸气的复合物,并以高度粘附性薄涂层沉积在工具或零部件上。以恒定速度旋转固定在几个轴上的零件可获得均匀的涂层厚度。

涂层性质(如硬度、结构、耐化学和耐温性、结合力)可以被精确地控制。

PVD 工艺包括电弧蒸发、溅射、离子镀以及增强溅射

除了著名的 PVD 工艺,欧瑞康巴尔查斯还提供几种公司内部开发的工艺。

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