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S3p – 可调节的脉冲增强等离子

S3p – 可调节的脉冲增强等离子

光滑度的革命
紧随智能化的大潮

可调节的脉冲增强等离子

S3p –可调节的脉冲增强等离子

电弧蒸发

电弧蒸发

在电弧蒸发中,高电流中的微小电荷在靶材表面上移动。此时材料立即熔化并且金属蒸气冷凝在工件上。由于该工艺过程具有爆炸性质,并可形成液化金属的液滴,因此可能导致涂层表面粗糙。引入反应气体从而形成化合物

工艺特点:
  • 电离度高
涂层属性:
  • 高密度、高硬度
  • 优异的结合力
  • 不甚平滑,有液滴

溅射

溅射

溅射是用高能粒子轰击靶材而使原子从固体靶材上弹出的过程。在薄膜涂层中,这是通过加速朝向固体靶材的氩离子,使其在靶材上击出金属原子并聚集在工件上来实现的。通过在真空腔室中引入气体而形成如金属氮化物等化合物。

工艺特点:
  • 电离度低
涂层属性:
  • 低密度、低硬度
  • 结合力一般
  • 平滑表面

S3p

S3p

S3p 结合了电弧蒸发和溅射技术的优点:

  • 过程中不产生液滴,不产生液滴
  • 涂层表面光滑
  • 非常高的涂层密度和硬度
  • 优异的结合力

独特的工艺窗口,在以下方面具有单独的可调节性

  • 脉冲持续时间
  • 脉冲形状
  • 电流密度

为涂层设计开创了前所未有的选择空间。通过S3p,精确实现相应应用的定制化涂层现已成为现实。

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