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增强溅射

增强溅射

增强溅射在腔室中央采用低电压电弧放电,以创造几倍于基本溅射工艺的等离子密度,因此可在气相中产生更高程度的粒子电离。

  1. 1.电子束源
  2. 2.氩气
  3. 3.反应性气体
  4. 4.二维磁控蒸发源(涂层材料)
  5. 5.零部件/工具
  6. 6.低压电弧放电
  7. 7.辅助阳极
  8. 8.真空泵
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