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PACVD 等离子辅助化学气相沉积

PACVD

PACVD 涂层是什么?

欧瑞康巴尔查斯通过高频 PACVD 工艺生产无金属的碳涂层。

该工艺的设置类似于用于溅射的工艺,通常结合 CVD 工艺使用。在 PACVD 中,含有涂层的气体被引入到真空室,由交流电压供应的放电点燃。

这可产生自由碳和氢原子(离子和游离基),并在工具和零部件上形成致密的涂层。使用不同的供应电压可影响涂层的属性。

  1. 1.氩气
  2. 2.反应性气体
  3. 3.零部件/工具
  4. 4.二维磁控蒸发源(涂层材料)
  5. 5.高频连接
  6. 6.真空泵
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