根据个人需求量身定制多种模块,创建一个伟大的单元 –这是METAPLAS.DOMINO的基础。在工具制造行业近30年的经验开发出此最先进的薄膜设备。
对欧瑞康巴尔查斯来说,这意味着提供高效的系统解决方案,甚至设定表面处理的趋势。薄膜设备的模块化和灵活性概念允许进一步的扩展和升级。
拥有不同尺寸的紧凑型设备,适合所有生产需求。
Flex版本是对未来新开发的技术进行整合的完美设计,例如整合进自动化生产工艺。
创新的APA蒸发器技术(先进的等离子辅助)基于阴极真空电弧,为新的层结构提供了多种开发可能性。
优势:
HiPIMS代表高功率脉冲磁控溅射。
在溅射工艺中,通过高能离子(Ar)轰击靶材,分离成原子进而转化成气相。通过结合溅射材料和其他气体,将涂层沉积在基材上。
使用氮化模块,可在同一个系统、同一个批次,在PVD和/或PACVD涂层工艺之前进行等离子氮化工艺。由此生成一个硬化层,为后续的PVD/PACVD涂层提供完美的支撑。
DLC就是类金刚石涂层,指一系列具有超低摩擦系数的非晶碳涂层。使用DLC模块,可以通过使用PVD和/或PACVD工艺来生成不同的DLC涂层。标准DLC涂层包括不含金属或含金属的碳基涂层。
ta-C 就是不含氢的四面体非晶碳,指的是一组极硬、低摩擦的非晶碳涂层。使用ta-C模块可以生产不同的ta-C涂层。
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