半导体专用涂层 专为高敏感度半导体行业设计的薄膜解决方案

欧瑞康巴尔查斯的定制类金刚石涂层(DLC)解决方案,例如 BALINIT DYLYN,可以在不污染敏感的半导体晶片的情况下,赋予晶片接触工具和定位系统有益的属性如低摩擦性、优异的附着力和高热导性。
DLC 涂层满足个性化需求越好,客户的总体成本就越低。我们的能力和应用专长使我们能够根据客户的特定要求精确定制 DLC 涂层的性能。高硬度、低摩擦系数和优异的耐磨性帮助显著减少颗粒的形成,从而实现高产量制造——一个关键因素,尤其是对较小的尺寸。可保证一致的涂层零部件质量,从而提供了一致的工艺可靠性。
欧瑞康巴尔查斯专门提供定制半导体涂层,满足了半导体行业的高度严格需求。仅仅是众多解决方案中的一个实例:一个对晶片、电子卡盘、基座、蚀刻套件、喷头和真空泵零部件应用的可抗氟化化学物质刻蚀的全新涂层。
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产品包括 BALINIT DYLYN,可减少磨损和污染,并具备可调电子性能。其他包括耐刻蚀的Y2O3,和用于磨损和导电性的TiN 和 CrN
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BALINIT DYLYN 涂层用于减少污染和可调电导率。 BALINIT A (TiN) 用于比 DYLYN 更高的电导率。
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Y2O3 提供了完美的对氟化化学物的抗腐蚀性。优点包括降低 CoO 和低金属污染。
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BALINIT DYLYN 的电子可调节性有助于排除成品设备多余的静电放电 (ESD)。
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Y2O3可以减少多余的AlF 颗粒的产生和污染。BALINIT DYLYN 甚至可以在某些特定应用中匹配发射率。
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BALINIT FUTURA NANO 通常可保护真空螺杆泵不受磨损。 Y2O3 已经证明了对氟化化学物的耐刻蚀性,并可延长零部件的服务寿命。