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半导体专用涂层 专为高敏感度半导体行业设计的薄膜解决方案

半导体专用涂层

欧瑞康巴尔查斯的定制类金刚石涂层(DLC)解决方案,例如 BALINIT DYLYN,可以在不污染敏感的半导体晶片的情况下,赋予晶片接触工具和定位系统有益的属性如低摩擦性、优异的附着力和高热导性。

DLC 涂层满足个性化需求越好,客户的总体成本就越低。我们的能力和应用专长使我们能够根据客户的特定要求精确定制 DLC 涂层的性能。高硬度、低摩擦系数和优异的耐磨性帮助显著减少颗粒的形成,从而实现高产量制造——一个关键因素,尤其是对较小的尺寸。可保证一致的涂层零部件质量,从而提供了一致的工艺可靠性。

欧瑞康巴尔查斯专门提供定制半导体涂层,满足了半导体行业的高度严格需求。仅仅是众多解决方案中的一个实例:一个对晶片、电子卡盘、基座、蚀刻套件、喷头和真空泵零部件应用的可抗氟化化学物质刻蚀的全新涂层。

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