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Schichtoptionen Schichtmaterial Beschichtungstechnologie Mikrohärte HIT (GPa) Reibungskoeffizient (trocken) vs. Stahl Max. Anw.- Temp. [°C] Prozesstemperatur
BALINIT DYLYN a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
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Halbleiter showerhead

Y2O3 kann unerwünschte AIF-Partikelbildung und Verunreinigung verringern. BALINIT DYLYN kann sogar dem Emissionsgrad bei manchen Anwendungen entsprechen.