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PACVD Deposição química de vapor assistida por plasma

PACVD

O que é revestimento PACVD?

Para a elaboração de revestimentos de carbono isentos de metal, a Oerlikon Balzers emprega o processo PACVD de alta frequência.

A configuração utilizada neste processo é similar à seguida para a pulverização catódica usada em combinação com CVD. Na PACVD, é introduzido um gás que contém os elementos de revestimento na câmara a vácuo e é aplicada uma tensão AC de alta frequência.

Isso cria átomos de carbono e hidrogênio (íons e radicais) que formam um revestimento denso nas ferramentas e nos componentes. A variação na tensão aplicada influencia as propriedades do revestimento.

 

  1. 1. Argônio
  2. 2. Gás reativo
  3. 3. Componentes/Ferramentas
  4. 4. Fonte de evaporação por magnétron planar (material de revestimento)
  5. 5. Conexão por alta frequência
  6. 6. Bomba de vácuo
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