BALORA® HALONA é um revestimento PVD desenvolvido para processos exigentes de plasma etching, oferecendo resistência excepcional a produtos químicos e abrasão, atendendo às necessidades atuais e futuras da indústria de semicondutores.
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BALORA HALONA Proteção Superior contra Corrosão para um Desempenho Duradouro em Semicondutores
| BALORA HALONA | |
|---|---|
| Material de revestimento | YOF |
| Tecnologia de Revestimento | Magnetron PVD |
| Cor do revestimento | clara/transparente |
| Dureza do revestimento HIT [GPa]* | ~ 12 |
| Coeficiente de atrito (a seco) em oposição ao aço** | ~ 0.6 |
| Temp. máx. de operação [°C]**** | > 1000 |
| Temperatura do processo [ºC] | < 250 |
| Comentário geral | Todos os dados fornecidos são valores aproximados, que dependem da aplicação, ambiente e condições de testes. |
| *Dureza do revestimento HIT [GPa] | Medido por nanorreentrância de acordo com a ISO 14577. Para multicamadas, a dureza de diferentes camadas varia. A dureza pode ser adaptada à aplicação. |
| **Coeficiente de atrito (a seco) em oposição ao aço | Determinada pelo teste esfera no disco em condições a seco com uma esfera de aço de acordo com a ASTM G99. Durante a operação, os valores podem ser excedidos. |
| ****Temp. máx. de operação [°C] | Estes são os valores aproximados no campo. Devido às leis da termodinâmica, há uma dependência de pressão na aplicação. |
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