A DOMINO kila flex atende a todos os requisitos de uma flexível, orientada para o cliente e máquina de produção de baixa manutenção, que mantém todas as portas abertas para solicitações especiais. Portanto, a câmara PVD octogonal de acesso livre com 2 portas para carga e descarga é uma plataforma ideal para automação e de fácil operação com manutenção reduzida. E ao mesmo tempo, em adicional a tecnologia por arco e Sputtering, os sistemas precursor podem também ser usados e integrados no sistema.
- Tecnologia APA Arc, HiPIMS sputtering ou HI3 em até 6 flanges
- Nova tecnologia etching ADVANCED AEGD
- Câmara de aço inoxidável refrigerada a água de parede dupla acessível de ambos os lados com 2 portas de câmara
- Abertura e fechamento automático da porta de carregamento por processo automático
- Precursores por vários processos de PACVD, também em combinação com um processo de nitretação
- Retrofitting de diversas tecnologias e sistemas de análises (Plasma) dependendo dos requisitos do cliente
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LOADY (veículo guiado automatizado) para carregamento, revestimento e descarregamento automatizados – disponível como opção
