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METAPLAS DOMINO pica
METAPLAS DOMINO kila
METAPLAS DOMINO kila flex
METAPLAS DOMINO giga flex

Adaptar múltiplos módulos de acordo com as demandas individuais e montar um ótimo equipamento – esta é a base do METAPLAS.DOMINO. Equipamento de película fina de última geração desenvolvido com o conhecimento de quase 30 anos de experiência na indústria de fabricação de ferramentas.

Para a Oerlikon Balzers, isso significa oferecer soluções em equipamento eficazes e até mesmo definir tendências em tratamento de superfícies. O conceito modular e flexível do equipamento de película fina permite expansões e atualizações.

  • Alta segurança do processo
  • Tempo de ciclo curto
  • Custos baixos por peça

Equipamento com câmera integrada

Equipamento compacto em diferentes tamanhos para todas as necessidades de produção.

Propriedades

METAPLAS.DOMINO pica

Volume de revestimento útil

Ø 330 mm x 300 mm

Módulos de revestimento disponíveis

Arco, sublimação catódica, HiPIMS, HI3, Nitretação, DLC, ta-C

Evaporadores por arco APA

2 a 6

Fontes de sublimação catódica magnetrônica

1 a 3

Fontes de alimentação disponíveis

DC, pulso DC, HiPIMS, pulso bipolar, MF (RF, a pedido)

Limpeza com plasma

Todos os sistemas equipados com o processo patenteado de gravação AEGD

Tabela de substrato padrão
(outros, a pedido)

5 eixos

Propriedades

METAPLAS.DOMINO micra

Volume de revestimento útil

Ø 450 mm x 500 mm

Módulos de revestimento disponíveis

Arco, sublimação catódica, HiPIMS, HI3, Nitretação, DLC, ta-C

Evaporadores por arco APA

3 a 12

Fontes de sublimação catódica magnetrônica

1 a 4

Fontes de alimentação disponíveis

DC, pulso DC, HiPIMS, pulso bipolar, MF (RF, a pedido)

Limpeza com plasma

Todos os sistemas equipados com o processo patenteado de gravação AEGD

Tabela de substrato padrão
(outros, a pedido)

6 eixos

Propriedades

METAPLAS.DOMINO kila

Volume de revestimento útil

Ø 620 mm x 700 mm

Módulos de revestimento disponíveis

Arco, sublimação catódica, HiPIMS, HI3, Nitretação, DLC, ta-C

Evaporadores por arco APA

4 a 16

Fontes de sublimação catódica magnetrônica

1 a 4

Fontes de alimentação disponíveis

DC, pulso DC, HiPIMS, pulso bipolar, MF (RF, a pedido)

Limpeza com plasma

Todos os sistemas equipados com o processo patenteado de gravação AEGD

Tabela de substrato padrão
(outros, a pedido)

9 eixos

Equipamento com câmara livre e duas portas

As versões “flex” foram projetadas para uma integração futura de tecnologias recém-desenvolvidas, como a integração com os processos de produção automatizados.

Propriedades

METAPLAS.DOMINO kila flex

Volume de revestimento útil

Ø 620 mm x 700 mm

Módulos de revestimento disponíveis

Arco, sublimação catódica, HiPIMS, HI3, Nitretação, DLC, ta-C

Evaporadores por arco APA

4 a 16

Fontes de sublimação catódica magnetrônica

1 a 6

Fontes de alimentação disponíveis

DC, pulso DC, HiPIMS, pulso bipolar, MF (RF, a pedido)

Limpeza com plasma

Todos os sistemas equipados com o processo patenteado de gravação AEGD

Tabela de substrato padrão
(outros, a pedido)

9 eixos

Propriedades

METAPLAS.DOMINO giga flex

Volume de revestimento útil

Ø 1,200 mm x 1,500 mm

Módulos de revestimento disponíveis

Arco, sublimação catódica, HiPIMS, HI3, Nitretação, DLC, ta-C

Evaporadores por arco APA

8 a 32

Fontes de sublimação catódica magnetrônica

1 a 4

Fontes de alimentação disponíveis

DC, pulso DC, HiPIMS, pulso bipolar, MF (RF, a pedido)

Limpeza com plasma

Todos os sistemas equipados com o processo patenteado de gravação AEGD

Tabela de substrato padrão
(outros, a pedido)

Até 32 eixos

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