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P3e Pulse Enhanced Electron Emission

P3e

Dieses revolutionäre Verfahren ermöglicht es, nahezu jede herkömmliche Hartbeschichtung mit Aluminiumoxid-basierender Beschichtung zu kombinieren und Variationen der Beschichtungseigenschaften in bisher ungekanntem Ausmaß zu realisieren. Das Ergebnis: völlig neue Optionen für die Konstruktion von Hochleistungswerkzeugen. P3e® ist eine geschützte Technologie von Oerlikon Balzers.

Was ist P3e®?

Dank der P3e® Beschichtungstechnologie gelang es Balzers als weltweit erster Firma, harte, Aluminiumoxid-basierende Schichten in Korundstruktur in einem PVD-Verfahren bei Temperaturen deutlich unter 600 °C abzuscheiden. Bisher war das Aufbringen derartiger Schichten nur in CVD-Verfahren bei wesentlich höheren Temperaturen möglich: Das CVD-Verfahren beinhaltet jedoch ein Risiko für Versprödungen bei einigen Hartmetallen und ist für das Beschichten von Stählen praktisch nicht einsetzbar. P3e® wurde hauptsächlich für Werkzeuge entwickelt, eignet sich aber auch für Maschinenelemente, wenn sowohl isolierende Eigenschaften als auch Widerstandsfähigkeit gegen hohe Temperaturen und Korrosion erforderlich sind. P3e® ist eine geschützte Technologie von Oerlikon Balzers.

Wie funktioniert P3e®?

Die P3e®-Technologie basiert auf Arc-Verdampfung und Pulstechnologie und kann in einer reinen Sauerstoffumgebung eingesetzt werden. Impulsstrom regelt die Elektronenemission und die Plasmadichte. Die Stützschicht und die Schicht auf Aluminiumoxid-Basis werden in einem Durchgang bei Temperaturen deutlich unter 600 °C aufgebracht. Die P3e® Technologie ermöglicht die Abscheidung jeder Art von Metalloxid (Al2O3, ZrO2, Cr2O3, Ta2O5 usw.) und jeder Kombination davon. P3e® ist als Option in den Beschichtungsanlagen INNOVA und INGENIA verfügbar bzw. kann in Ihrer Anlage vor Ort nachgerüstet werden.

  1. 1. Elektronenstrahl-Quelle
  2. 2. Sauerstoffumgebung für Kathoden-Bogenquellen
  3. 3. Reaktivgas O2
  4. 4. Arc-quellen (Beschichtungsmaterial und Trägerplatte)
  5. 5. Bauteile/Werkzeuge
  6. 6. Niederspannungsbogenentladung
  7. 7. Hilfsanode
  8. 8. Gepulste Kathoden-Bogen-Verdampfung
  9. 9. Gepulste Hochleistungs-Substratspannung
  10. 10. Vakuumpumpe

 

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