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Arc Evaporation

Arc Evaporation

Bei diesem Verfahren läuft ein Lichtbogen mit einem Durchmesser von nur wenigen Mikrometern bis hin zu einem Zehntel Mikrometer über das feste, metallische Schichtmaterial und bringt es zum Verdampfen. Die eingesetzten hohen Ströme und Leistungsdichten führen zu einer nahezu vollständigen Ionisation des verdampften Materials und somit zur Bildung von hochenergetischem Plasma.

Die Metall-Ionen verbinden sich mit dem Reaktivgas, das in die Kammer eingeleitet wird, treffen mit hoher Energie auf die Werkzeuge oder Bauteile auf und schlagen sich als dünne und stark haftende Schicht nieder.

 

Arc evaporation Prozess

  1. 1. Argon
  2. 2. Reaktionsgas
  3. 3. Arc-Quellen (Beschichtungsmaterial und Trägerplatte)
  4. 4. Bauteile/Werkzeuge
  5. 5. Vakuumpumpe
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