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SUCOTEC Equipo de recubrimiento CVD de alta calidad

Equipo de recubrimiento CVD de alta calidad SUCOTEC

Las series kila, mega y giga de SUCOTEC son la nueva generación de sistemas CVD de alta calidad de Oerlikon Balzers. Utilizados en todo el mundo, estos sistemas han demostrado su excelente rendimiento, flexibilidad y fiabilidad para nanocapas, capas múltiples y recubrimientos recientemente desarrollados en condiciones de producción completa.

  • Productividad incrementada
  • Rentable y flexible para requerimientos en el futuro
  • Bajos costos de mantenimiento y más tiempo de actividad
  • Revestimientos de alta calidad constante, lote por lote
  • Seguridad en la que puede confiar

Equipos estándar

El proceso de recubrimiento en todos los sistemas CVD SUCOTEC se realiza a presiones de 40 mbar a 800 mbar abs. y temperaturas en el rango de 700 °C hasta 1040 °C. Todos los componentes especificados están probados industrialmente y cumplen con las más altas expectativas.
Todos los tubos y válvulas calentados están aislados con materiales prefabricados para una mejor eficiencia, evitando la irritación de la piel.

Recubrimientos típicos que se pueden depositar con la configuración básica: TiN, TiC, TiCN, MT-TiCN

  Precursor
 
Gases: Ar, H2, N2, HCI, CH4, H2S, CO2, CO hasta 25 controladores de caudal másico (MFC) posibles
Líquidos: TiCI4, CH3CN 2 Coriolis

Opciones

A extensibilidad de todos los sistemas SUCOTEC permite gases y precursores adicionales, lo que significa que están bien preparados para futuros desarrollos y tendencias. En general, los sistemas SUCOTEC son ampliables a las siguientes opciones:

  Recubrimientos especiales* Requerimientos
 
Nano columnas MT-TiCN, TiSiN, TiSiCN Ar, C2H6, C2H4, SiCl4
α-AI203, k-AI203 Generador de aluminio (ALGE) para temperaturas <350°C
TiAlN y TiAlCN (fcc** o con mezcla fcc/h con alto contenido de Al) Entrada de gas adicional NH3, Ar, N2 calefacción y distribución de gas, ALGE
ZrN, ZrCN, ZrBCN, ZrO2, HfN, HfCN Clorador metálico (MEGE) para temperaturas <450°C
Cr2O3, CrCx Clorador interno para temperaturas en el rango de 700 - 1000°C
TiB2, TiBN, MT-TiBCN BCl3, Ar

* Patentes: Oerlikon Balzers AG no será responsable ante el cliente por ningún reclamo por incumplimiento de los derechos de patente por parte de cualquier persona o partes, bajo cualquier patente de cualquier país, independientemente de si dicho reclamo es capaz de justificarse o no.
** Estructura cristalina cúbica centrada en la cara

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