DOMINO micra Una solución compacta y versátil para una solución PVD personalizada

El DOMINO micra cumple con los requisitos de casi todos los desafíos en una plataforma. Permite una amplia variedad de tecnologías según los requisitos del cliente y es una plataforma perfecta, especialmente como sistema HiPIMS.

• Tecnología APA Arc, pulverización HiPIMS o HI3
• Sputtering HiPIMS con 4 magnetrones y BIAS pulsado bipolar sincronizado
• Combinación también con PACVD y proceso de nitruración
• Adaptación de varias tecnologías según los requisitos del cliente