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METAPLAS.DOMINOUna sóla plataforma de tecnología - varias posibilidades

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METAPLAS.DOMINO pica
METAPLAS. DOMINO micra
METAPLAS.DOMINO kila
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO giga flex

Adaptamos múltiples módulos a las demandas individuales y desarrollamos una gran unidad - esta es la base de METAPLAS.DOMINO. El equipo de recubrimiento delgado de última generación ha sido desarrollado con el conocimiento de casi 30 años de experiencia en la industria de fabricación de herramientas.

Para Oerlikon Balzers, esto significa ofrecer soluciones en sistema eficientes y aun marcar tendencias en tratamiento superficial. El concepto modular y flexible del equipo de recubrimiento delgado permite aun más expansiones y actualizaciones.

  • Ventajas

    Ventajas

    • Flexibilidad, varias opciones de expansión modular
    • Recubrimientos únicos
    • Mínimo mantenimiento y poca necesidad de cambios de refacciones
    • Eficiente servicio de postventa

    HI3 – Alta Ionización Triple
    Tecnología Híbrida (Arco+HiPIMS) combinada con grabado de plasma AEGD:

    HI3
     
    HI3
    • Fuerza combinada de 3 procesos en un sistema PVD
    • Excelente adherencia, alta velocidad de deposición, recubrimientos lisos, producción económica
    • El enfoque innovador a la siguiente generación de recubrimientos PVD para varias aplicaciones
    • De tecnología HI3 permite lograr una variedad de diseños de capas
    • Con recubrimientos de tecnología HI3 puede ser confeccionado para un amplio rango de materiales, por micro aleación, por "doping" y por diseño de capa... ¡combinado con la producción de bajo costo!
  • Especificaciones

    Equipo con cámara integrada

    Equipo compacto en diferentes tamaños para todas las necesidades de producción.

      METAPLAS.DOMINO pica METAPLAS.DOMINO micra METAPLAS.DOMINO kila
    Propiedades
    METAPLAS.DOMINO pica
    METAPLAS.DOMINO micra
    METAPLAS.DOMINO kila
    Volumen útil de recubrimiento
    Ø 330 mm x 300 mm
    Ø 450 mm x 500 mm
    Ø 620 mm x 700 mm
    Módulos de recubrimiento disponibles
    Arco, Pulverización, HiPIMS, HI3, Nitruración, DLC, ta-C
    Evaporadores de arco APA
    2 a 6
    3 a 12
    4 a 16
    Fuentes de pulverización del magnetrón
    1 a 3
    1 a 4
    1 a 4
    Suministros de energía disponibles
    DC, DC pulso, HiPIMS, bipolar pulsado, MF (RF por solicitud)
    Limpieza de plasma
    Todos los sistemas equipados con el proceso de grabado por energía AEGD patentado
    Tabla de substrato estándar
    (otras por solicitud)
    5 ejes
    6 ejes
    9 ejes
     

    Equipo con cámara libre y dos puertas

    Las versiones flex están perfectamente diseñadas para la futura integración de tecnología recién desarrollada, así como la integración en procesos de producción automatizada.

      METAPLAS.DOMINO kila flex METAPLAS.DOMINO giga flex
    Propiedades
    METAPLAS.DOMINO kila flex
    METAPLAS.DOMINO giga flex
    Volumen útil de recubrimiento
    Ø 620 mm x 700 mm
    Ø 1.200 mm x 1.500 mm
    Módulos de recubrimiento disponibles
    Arco, Pulverización, HiPIMS, HI3, Nitruración, DLC, ta-C
    Evaporadores de arco APA
    4 a 16
    8 a 32
    Fuentes de pulverización del magnetrón
    1 a 6
    1 a 4
    ASuministros de energía disponibles
    DC, DC pulso, HiPIMS, bipolar pulsado, MF (RF por solicitud)
    Limpieza de plasma
    Todos los sistemas equipados con el proceso de grabado por energía AEGD patentado
    Tabla de substrato estándar
    (otras por solicitud)
    9 ejes
    Hasta 32 ejes
     
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  • Información adicional

    Módulos principales

    Arco

    Arc

    La innovación tecnológica del evaporador APA (Advanced Plasma Assisted) está basada en arco de vacío catódico y ofrece posibilidades de desarrollo de diseño y configuración de distintos recubrimientos.

    Ventajas:

    • Elevado uso de targets que resulta en bajos costos de los mismos
    • Altas velocidades de deposición
    • Campos magnéticos ajustables
    • Tiempo corto en recambio de targets
    • Alta densidad de plasma
    • Reducción de macropartículas
    • Excelente adhesión del recubrimiento

    HiPIMS

    HiPIMS

    HiPIMS significa Pulverización de Magnetrón por Impulso de Alta Energía.

     

    Ventajas:

    • Alta tasa de ionización (similar al arco)
    • Densidades de alta energía de 100 a 1000 W/cm2
    • Muy alta densidad de plasma
    • Estructuras de capa ajustables por ajustes de parámetros de plasma
    • Recubrimientos muy lisos
    • Excelente adhesión del recubrimiento
    • Deposición de recubrimientos densos a bajas temperaturas del substrato
     

    Módulos adicionales

    Pulverizada

    Sputter

    En el proceso de pulverización, los átomos son extraídos de los targets por bombardeo con iones de alta energía (Ar) y transformados en la fase de gas. Al combinar el material pulverizado con gases adicionales, un recubrimiento es depositado en el substrato.

     

    Ventajas:

    • Una amplia gama de materiales pueden depositarse
    • Diversas variantes del proceso disponibles
    • Recubrimientos lisos
    • Buena adhesión del recubrimiento en combinación con proceso de grabado de energía AEGD

    Nitruración

    Nitriding

    Con el módulo de nitrurado, puede llevarse a cabo un proceso de nitrurado por plasma antes de un proceso de recubrimiento de deposición física mediante vapores (PVD) y/o deposición química mediante vapores asistida por plasma (PACVD) en un sistema y una carga. Por lo tanto una capa endurecida puede ser producida lo que ofrece excelente apoyo para el subsecuente recubrimiento PVD/PACVD.

    Ventajas:

    • Optimización de herramientas y propiedades de los componentes
    • Substitución de materiales base caros
    • Tiempos de vida significativamente más largos
    • Pueden aplicarse todos los recubrimientos PVD

     

    DLC

    DLC

    DLC significa Carbono como Diamante y se refiere a un grupo de recubrimientos de carbono amorfo de fricción extremadamente baja. Con un módulo DLC, pueden producirse diferentes recubrimientos DLC usando procesos PVD y/o PACVD. Los recubrimientos DLC estándar consisten de recubrimientos libres de metal o de carbono conteniendo metal.

    Ventajas:

    • Excelente adhesión del recubrimiento
    • Alta resistencia al desgaste
    • Bajo coeficiente de fricción
    • Recubrimientos lisos

    ta-C

    ta-C

    ta-C significa carbono amorfo tetraédrico sin hidrógeno y se refiere a un grupo de recubrimientos de carbono amorfo extremadamente duros y de baja fricción. Con el módulo ta-C pueden producirse diferentes recubrimientos ta-C.


     

    Ventajas:

    • Para medio ambientes de temperaturas más altas que las de DLC
    • Muy alta resistencia al desgaste
    • Excelente adhesión del recubrimiento
    • Recubrimientos lisos

     

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