METAPLAS.DOMINOUna sóla plataforma de tecnología - varias posibilidades
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Adaptamos múltiples módulos a las demandas individuales y desarrollamos una gran unidad - esta es la base de METAPLAS.DOMINO. El equipo de recubrimiento delgado de última generación ha sido desarrollado con el conocimiento de casi 30 años de experiencia en la industria de fabricación de herramientas.
Para Oerlikon Balzers, esto significa ofrecer soluciones en sistema eficientes y aun marcar tendencias en tratamiento superficial. El concepto modular y flexible del equipo de recubrimiento delgado permite aun más expansiones y actualizaciones.
- Alta fiabilidad del proceso
- Tiempos de ciclo cortos
- Bajos costos por pieza
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Ventajas
Ventajas
- Flexibilidad, varias opciones de expansión modular
- Recubrimientos únicos
- Mínimo mantenimiento y poca necesidad de cambios de refacciones
- Eficiente servicio de postventa
HI3 – Alta Ionización Triple
Tecnología Híbrida (Arco+HiPIMS) combinada con grabado de plasma AEGD:
- Fuerza combinada de 3 procesos en un sistema PVD
- Excelente adherencia, alta velocidad de deposición, recubrimientos lisos, producción económica
- El enfoque innovador a la siguiente generación de recubrimientos PVD para varias aplicaciones
- De tecnología HI3 permite lograr una variedad de diseños de capas
- Con recubrimientos de tecnología HI3 puede ser confeccionado para un amplio rango de materiales, por micro aleación, por "doping" y por diseño de capa... ¡combinado con la producción de bajo costo!
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Especificaciones
Equipo con cámara integrada
Equipo compacto en diferentes tamaños para todas las necesidades de producción.
Propiedades METAPLAS.DOMINO picaMETAPLAS.DOMINO micraMETAPLAS.DOMINO kilaVolumen útil de recubrimiento Ø 330 mm x 300 mmØ 450 mm x 500 mmØ 620 mm x 700 mmMódulos de recubrimiento disponibles Arco, Pulverización, HiPIMS, HI3, Nitruración, DLC, ta-CEvaporadores de arco APA 2 a 63 a 124 a 16Fuentes de pulverización del magnetrón 1 a 31 a 41 a 4Suministros de energía disponibles DC, DC pulso, HiPIMS, bipolar pulsado, MF (RF por solicitud)Limpieza de plasma Todos los sistemas equipados con el proceso de grabado por energía AEGD patentadoTabla de substrato estándar
(otras por solicitud)5 ejes6 ejes9 ejes
Equipo con cámara libre y dos puertas
Las versiones flex están perfectamente diseñadas para la futura integración de tecnología recién desarrollada, así como la integración en procesos de producción automatizada.
Propiedades METAPLAS.DOMINO kila flexMETAPLAS.DOMINO giga flexVolumen útil de recubrimiento Ø 620 mm x 700 mmØ 1.200 mm x 1.500 mmMódulos de recubrimiento disponibles Arco, Pulverización, HiPIMS, HI3, Nitruración, DLC, ta-CEvaporadores de arco APA 4 a 168 a 32Fuentes de pulverización del magnetrón 1 a 61 a 4ASuministros de energía disponibles DC, DC pulso, HiPIMS, bipolar pulsado, MF (RF por solicitud)Limpieza de plasma Todos los sistemas equipados con el proceso de grabado por energía AEGD patentadoTabla de substrato estándar
(otras por solicitud)9 ejesHasta 32 ejes -
Información adicional
Módulos principales
Arco
La innovación tecnológica del evaporador APA (Advanced Plasma Assisted) está basada en arco de vacío catódico y ofrece posibilidades de desarrollo de diseño y configuración de distintos recubrimientos.
Ventajas:
- Elevado uso de targets que resulta en bajos costos de los mismos
- Altas velocidades de deposición
- Campos magnéticos ajustables
- Tiempo corto en recambio de targets
- Alta densidad de plasma
- Reducción de macropartículas
- Excelente adhesión del recubrimiento
HiPIMS
HiPIMS significa Pulverización de Magnetrón por Impulso de Alta Energía.
Ventajas:
- Alta tasa de ionización (similar al arco)
- Densidades de alta energía de 100 a 1000 W/cm2
- Muy alta densidad de plasma
- Estructuras de capa ajustables por ajustes de parámetros de plasma
- Recubrimientos muy lisos
- Excelente adhesión del recubrimiento
- Deposición de recubrimientos densos a bajas temperaturas del substrato
Módulos adicionales
Pulverizada
En el proceso de pulverización, los átomos son extraídos de los targets por bombardeo con iones de alta energía (Ar) y transformados en la fase de gas. Al combinar el material pulverizado con gases adicionales, un recubrimiento es depositado en el substrato.
Ventajas:
- Una amplia gama de materiales pueden depositarse
- Diversas variantes del proceso disponibles
- Recubrimientos lisos
- Buena adhesión del recubrimiento en combinación con proceso de grabado de energía AEGD
Nitruración
Con el módulo de nitrurado, puede llevarse a cabo un proceso de nitrurado por plasma antes de un proceso de recubrimiento de deposición física mediante vapores (PVD) y/o deposición química mediante vapores asistida por plasma (PACVD) en un sistema y una carga. Por lo tanto una capa endurecida puede ser producida lo que ofrece excelente apoyo para el subsecuente recubrimiento PVD/PACVD.
Ventajas:
- Optimización de herramientas y propiedades de los componentes
- Substitución de materiales base caros
- Tiempos de vida significativamente más largos
- Pueden aplicarse todos los recubrimientos PVD
DLC
DLC significa Carbono como Diamante y se refiere a un grupo de recubrimientos de carbono amorfo de fricción extremadamente baja. Con un módulo DLC, pueden producirse diferentes recubrimientos DLC usando procesos PVD y/o PACVD. Los recubrimientos DLC estándar consisten de recubrimientos libres de metal o de carbono conteniendo metal.
Ventajas:
- Excelente adhesión del recubrimiento
- Alta resistencia al desgaste
- Bajo coeficiente de fricción
- Recubrimientos lisos
ta-C
ta-C significa carbono amorfo tetraédrico sin hidrógeno y se refiere a un grupo de recubrimientos de carbono amorfo extremadamente duros y de baja fricción. Con el módulo ta-C pueden producirse diferentes recubrimientos ta-C.
Ventajas:
- Para medio ambientes de temperaturas más altas que las de DLC
- Muy alta resistencia al desgaste
- Excelente adhesión del recubrimiento
- Recubrimientos lisos