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PC-Software for Turbomolecular Pumps:

Interfaces MAG.DRIVE-S-iS

26.11.2011 Software and manuals for RS232, RS485 and Profibus DP. GSD file for Profibus DP.
- deutsch/englisch (4,57 MB, ZIP-Datei)
Interfaces TURBO.DRIVE TD20 Classic

17.05.2011 Software and manuals for RS232, RS485, Profibus DP, EtherNet/IP and DeviceNet. GSD file for Profibus DP.
- deutsch/englisch (1,83 MB, ZIP-Datei)
Interfaces MAG Integra

26.08.2011 Manuals for RS232, RS485 and Profibus DP. GSD file for Profibus DP.
- deutsch/englisch (3,13 MB, ZIP-Datei)
Interfaces MAG DRIVE digital

17.11.2011 Manuals and GSD file for Profibus
- Herunterladen (823,38 KB, ZIP-Datei)
TURBO DRIVE Server (V1.50)

01.01.2012 Control and exchange of data with the frequency converters for turbomolecular pumps. Recording of parameter data over a longer period of time. Integration of user software through the open software programming interface. The integrated Datalogger software is also compatible with the operatimg units for active sensors CENTER ONE, CENTER TWO, CENTER THREE and COMBIVAC CM51.
- deutsch/englisch (12,81 MB, ZIP-Datei)
Profibus Interfaces for TURBODRIVE S/L, 300,700

30.08.2006 s03_Profibus_TD_S_L_300_700
- english (176,57 KB, ZIP-Datei)
- german (176,57 KB, ZIP-Datei)
Palm Panel

30.08.2006 User Interface for Leybold-Turbomolecular Pumps for Palm© Handheld Organizer
- deutsch/englisch (360,32 KB, ZIP-Datei)
Palm Panel

14.09.2006 User manual for Palm© Handheld Organizer software
- englisch (190,31 KB, PDF-Datei)
- deutsch (191,22 KB, PDF-Datei)

Software for Cryopumps

Profibus Interfaces for Cryopumps

30.08.2006 s04_Profibus_Kryo
- Herunterladen (225,80 KB, ZIP-Datei)

Software for Gauges

Gerätestammdatei IF540 Profibus Schnittstelle zu IM 540

19.05.2008
- Herunterladen (4,56 KB, GSD-Datei)
Firmware for IM 540 [V03.11] (für die Installation bitte die Bedienungsanleitung beachten)

06.02.2009
- Herunterladen (347,50 KB, ZIP-Datei)
Sofware für CENTER ONE

24.09.2012 Firmware for CENTER ONE (version September 2012) compatible also with Di, DU sensors.
- Herunterladen (115,17 KB, ZIP-Datei)
Software für CENTER TWO und CENTER THREE

24.09.2012 Firmware for CENTER TWO and CENTER THREE (version September 2012) compatible also with DI, DU sensors.
- Herunterladen (124,93 KB, ZIP-Datei)
Gerätestammdatei für COMBIVAC CM51 Profibus

27.07.2010
- Herunterladen (9,04 KB, ZIP-Datei)

Software for Gauges Interfaces (Device-Net, Profi-Bus)

TTR 211 SD, 89651
TTR 216 SD, 89653

31.08.2007
- Herunterladen (1,95 KB, ZIP-Datei)
IONIVAC ITR 200 SP, DN 25 KF, Kat. Nr. 230252
IONIVAC ITR 200 SP, DN 40 CF-R, Kat. Nr. 230256
IONIVAC ITR 200 SP (150°C), DN 40 CF-R, Kat. Nr. 230259

03.04.2008
- Herunterladen (2,92 KB, GSD-Datei)
IONIVAC ITR 200 SD, DN 40 CF-R, Kat.Nr. 230257, EDS-Datei
IONIVAC ITR 200 SD, DN 25 KF, Kat.Nr. 230253, EDS-Datei

13.01.2009
- Herunterladen (7,02 KB, ZIP-Datei)
TTR 911 PB (Cat.No. 89650V01)
TTR 911 CC PB (Cat.No. 89659V01)
TTR 916 PB (Cat.No. 89652V01)
TTR 101 PB (Cat.No. 230358V01)
TTR 101 PB (Cat.No. 230360V01)

23.01.2013
- Herunterladen (1,58 KB, ZIP-Datei)
TTR 211 SP, 89650
TTR 216 SP, 89652

31.08.2007
- Herunterladen (0,94 KB, ZIP-Datei)
PTR 225 P, 89641

31.08.2007
- Herunterladen (0,93 KB, ZIP-Datei)
ITR 90 P, 230030
ITR 90 P, 230031

31.08.2007
- Herunterladen (1,06 KB, ZIP-Datei)
ITR 100 P, 16370
ITR 100 P, 16372

31.08.2007
- Herunterladen (2,59 KB, ZIP-Datei)
ITR 100 D, 16374
ITR 100 D, 16375

31.08.2007
- Herunterladen (2,32 KB, ZIP-Datei)
PTR 237 D, 89462

31.08.2007
- Herunterladen (1,39 KB, ZIP-Datei)

Vacuum Systems - Software for PHOENIXL 300 Series

Software für Lecksucher PHOENIXL 300 Series

26.04.2010 FlashUpdate PHOENIXL 300 Series Version 2.40 (for installation please ask the Oerlikon Leybold Service Team)

PC-Software for DRYVAC and RUVAC WH pumps

GSD file for DRYVAC and RUVAC WH pumps with Profibus-DP option board, cat. no. 155212V

14.07.2010
- Herunterladen (1,99 KB, ZIP-Datei)
GSD file for DRYVAC (i) pumps with Profibus-DP interface

31.08.2010
- Herunterladen (2,02 KB, ZIP-Datei)

Innovation has a name - Oerlikon Leybold Vacuum

Segment Textile

Segment Drive Systems

Segment Vacuum

Segment Coating

Segment Advanced Technologies

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Interfaces TURBO.DRIVE TD20 Classic

Interfaces MAG Integra

Interfaces MAG DRIVE digital

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Profibus Interfaces for TURBODRIVE S/L, 300,700

Palm Panel

Palm Panel

Software for Cryopumps

Profibus Interfaces for Cryopumps

Software for Gauges

Gerätestammdatei IF540 Profibus Schnittstelle zu IM 540

Firmware for IM 540 [V03.11] (für die Installation bitte die Bedienungsanleitung beachten)

Sofware für CENTER ONE

Software für CENTER TWO und CENTER THREE

Gerätestammdatei für COMBIVAC CM51 Profibus

Software for Gauges Interfaces (Device-Net, Profi-Bus)

TTR 211 SD, 89651 TTR 216 SD, 89653

IONIVAC ITR 200 SP, DN 25 KF, Kat. Nr. 230252 IONIVAC ITR 200 SP, DN 40 CF-R, Kat. Nr. 230256 IONIVAC ITR 200 SP (150°C), DN 40 CF-R, Kat. Nr. 230259

IONIVAC ITR 200 SD, DN 40 CF-R, Kat.Nr. 230257, EDS-Datei IONIVAC ITR 200 SD, DN 25 KF, Kat.Nr. 230253, EDS-Datei

TTR 911 PB (Cat.No. 89650V01) TTR 911 CC PB (Cat.No. 89659V01) TTR 916 PB (Cat.No. 89652V01) TTR 101 PB (Cat.No. 230358V01) TTR 101 PB (Cat.No. 230360V01)

TTR 211 SP, 89650 TTR 216 SP, 89652

PTR 225 P, 89641

ITR 90 P, 230030 ITR 90 P, 230031

ITR 100 P, 16370 ITR 100 P, 16372

ITR 100 D, 16374 ITR 100 D, 16375

PTR 237 D, 89462

Vacuum Systems - Software for PHOENIXL 300 Series

Software für Lecksucher PHOENIXL 300 Series

PC-Software for DRYVAC and RUVAC WH pumps

GSD file for DRYVAC and RUVAC WH pumps with Profibus-DP option board, cat. no. 155212V

GSD file for DRYVAC (i) pumps with Profibus-DP interface

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TTR 211 SD, 89651
TTR 216 SD, 89653

IONIVAC ITR 200 SP, DN 25 KF, Kat. Nr. 230252
IONIVAC ITR 200 SP, DN 40 CF-R, Kat. Nr. 230256
IONIVAC ITR 200 SP (150°C), DN 40 CF-R, Kat. Nr. 230259

IONIVAC ITR 200 SD, DN 40 CF-R, Kat.Nr. 230257, EDS-Datei
IONIVAC ITR 200 SD, DN 25 KF, Kat.Nr. 230253, EDS-Datei

TTR 911 PB (Cat.No. 89650V01)
TTR 911 CC PB (Cat.No. 89659V01)
TTR 916 PB (Cat.No. 89652V01)
TTR 101 PB (Cat.No. 230358V01)
TTR 101 PB (Cat.No. 230360V01)

TTR 211 SP, 89650
TTR 216 SP, 89652

ITR 90 P, 230030
ITR 90 P, 230031

ITR 100 P, 16370
ITR 100 P, 16372

ITR 100 D, 16374
ITR 100 D, 16375